二手 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #293695701 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA-150 Mask Aligner是一種高精度光刻設備,旨在將光阻口罩精確對準並暴露於基板上,以便對集成電路進行陣列設計。MICROTEC MA150有一個最大尺寸為4 「x 4」的基板表，支持矽、玻璃、石英和電介質等剛性基板以及聚氯乙烯（PVDF）、聚氨酯和聚酯等柔性基板。對齊器還包括一個可容納多達四個4 「x 4」口罩的口罩卡帶和一個帶有5位齒輪驅動、樣品卡盤的口罩支架，用於自動基板裝卸。為確保精確和可重復對準,KARL SUSS MA 150具有由線性編碼器驅動的電動三軸對準級,定位精度高達0.1 µm。它還包括一個具有4X、10X和20X三個物鏡的自動對焦系統，它們共同提供了壯觀的50微米視野。對準器的光學單元的像素間分辨率為0.2µm，可變曝光時間為200 ms至10000ms，LED功率為9mW/cm2，曝光範圍高達8J/cm2。MA-150面罩對齊器使用線性同步微掃描技術，以1 µm的最小線寬暴露基板。適用於UV、Near-IR和E-beam光刻膠，並具有自動化的前端控制機器，可以簡化操作，兼容DOS、UNIX和Windows平臺。該工具提供了一個高精度真空子系統基板處理和對準使用用戶可編程運動控制資產。MA150 Mask Aligner是一種可靠、高效且具有成本效益的光刻解決方案,可用於晶圓探測、微凹凸平整、高縱橫比UV寫入、RGB自動彩色感光光刻以及其他微加工工藝。憑借其堅固的構造和直觀的操作模式，它是經濟高效的原型制作和試生產的理想工具。