二手 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #293775032 待售
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單擊可縮放
ID: 293775032
晶圓大小: 6"
優質的: 1993
Mask aligner, 6"
Cassette to cassette
Automatic wafer handling system
Lamp house: 1000 W (Hg) with CIC1000 Power supply
OSRAM 1000 with lamp
Pre-alignment
Semi-automatic front side alignment
Joystick controller
1993 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA-150是一款先進的高精度口罩對準器，擁有成本低，非常適合研發實驗室以及大學和較小的生產設施。MICROTEC MA150提供了與易於使用的軟件對齊的精確控制,允許快速調整關鍵參數,以彌補掩模放置和/或基板不對齊方面的錯誤。KARL SUSS MA 150利用預先對齊的蒙版和基板使它們快速準確地對齊,無需用戶幹預。通過兩個微米螺釘和一個標線級的精確調整來確定對準的準確性，使設備能夠產生精確的對準和最小的配準誤差。此外,KARL SUSS/MICROTEC MA 150能夠在廣泛的基板上重復對齊,包括4英寸和6英寸晶圓、玻璃和薄膜。面罩對準系統還具有空氣軸承級，可提供異常平滑的線性運動，從而提高精度和精確的重復性。采用集成微處理器控制器，精確、重復地控制標線級的運動，獲得盡可能高的精度Drange結果。MICROTEC MA-150還具有具有自動圖像識別和自動對焦功能的高分辨率查看單元,使掩模對準機能夠快速、精確地識別掩模和基板上的特征。此工具還包括一些軟件功能,允許用戶手動調整資產所做的位置和角度調整。這樣可以確保用戶從模型中獲得最佳的精度。KARL SUSS/MICROTEC MA150掩模對準設備可提供完整的附件，包括集成真空卡盤、晶圓弓、加熱基板卡盤、基板墊片，以及用於高級光學計量測量的架空175W橢圓儀。此高級掩碼對齊系統旨在滿足研究和生產級別應用程序的苛刻需求,並且可以與各種附加單元組件集成,從而實現更高的性能水平。
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