二手 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #9168355 待售
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ID: 9168355
Mask aligner, parts system
Ignition box: 1000 watts
Cables
Covers metal bars and screws
(17) Small PCBs are in card box
(2) Elevator assemblies
(2) Joysticks
Pre-aligner assembly
X-Axis lead screw
Upper and lower microscope mechanism
WEC Head
KARL SUSS Monitor (Bad screen)
Does not include:
UV Optics
Microscope and UV power supply.
KARL SUSS/MICROTEC MA-150是一種精密、高精度的掩模對準器,專為集成電路制造中的先進光刻技術而設計。它擁有150毫米的工作區，非常適合IC生產的廣泛應用，包括半導體研究、內存芯片編程和有源電路設計。對齊器由多個組件組成，包括全自動XYZ表和集成光學設備。XYZ表允許精確定位各種對齊掩碼。真空系統確保口罩牢固地固定在適當的位置。光學單元包括激光源、雙門光學機和超高分辨率光電探測器。這種組合使得蒙版與基板的對齊非常精確,而基於圖像的對齊工具則可以實現更精細的精度。MICROTEC MA150可以通過兩種方式確定掩模形狀和對齊方式。它可以檢測兩個相鄰掩碼之間的錯誤對齊,從而可以非常有效地放置掩碼。或者，它可以檢測單個掩模的形狀，允許非常精確地制造小至5 µm的形狀。這使得面罩對齊器非常適合廣泛的應用，包括微電子行業的應用。KARL SUSS MA 150也很人性化。它具有直觀的圖形用戶界面，為用戶提供了執行其光刻任務的易於遵循的步驟。輸入對齊參數後,MA-150分別將掩碼和亞微米陣列對齊基板。此對齊器還帶有許多高級特性和功能，如自動曝光控制和失真校正。這確保了精度和可重復性都大大提高。KARL SUSS/MICROTEC MA 150成為光刻學世界的支柱。它的高分辨率光學、自動化功能和集成的光學資產使其成為創造精密和精確的復雜電路布局的完美工具。它易於使用,並且能夠執行多個對齊任務,這使得它成為任何高級IC項目的絕佳選擇。
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