二手 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #9203271 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA-150 Mask Aligner是一種用於在集成電路和相關設備的生產中精確對準用於光刻的Masks的設備。它是一種全自動設備,非常適合生產幾乎任何設備尺寸或特征形狀的高通量設備。MICROTEC MA150旨在產生最精確的掩模-晶圓對準,最大分辨率為0.7微米。它采用了QuadraFlux™的四束成像系統，以確保掩模和晶片非常緊密的對準。這種高分辨率成像單元由動態6軸對齊機支持，該機補償掩模和晶圓之間的任何錯位。KARL SUSS MA 150能夠處理最復雜的蒙版設計，包括多層和子層圖案。它的動態對齊工具允許掩模和晶片的理想定位，無論復雜程度如何。這樣可以確保每個設備的制造都能達到最大精度。KARL SUSS/MICROTEC MA 150還能直接暴露正、負音抗蝕劑，允許產生極精確、精確的元件。除了其精確的光學對準能力外，KARL SUSS MA150還具有Pulsed或CW激光輸出，使其能夠用於從UV到IR的過程中。機器上的外部冷卻資產旨在確保成像過程中的最高均勻性。KARL SUSS MA-150還配備了大量的安全功能，包括用於安全操作的蓋子互鎖模型，以及自動檢查晶圓對準是否正確的晶圓尺寸驗證功能。KARL SUSS/MICROTEC MA150 Mask Aligner是一種高度精確可靠的機器,在創建高質量集成電路設備時為用戶提供無與倫比的精確度。MA-150具有許多高級功能，使其能夠生產從紫外線到紅外的無與倫比的精確度元件。高分辨率成像設備、動態6軸對準、外部冷卻系統和安全特性使本機成為精確可靠的掩模對準應用的理想選擇。