二手 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #9229271 待售
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ID: 9229271
Mask aligner
Top side only
Power supply: CIC 1000
PC type: TYAN / FN 9160015
Relay interlock box
TSA microscope
TSA objectives: 5x / 0.15, 10x / 0.30, 20x / 0.40
COGNEX 5000
Power meter
Exposure optics: UV 400 HP
Pre-aligner
Mask holder
Voltage: 230 V
Lamp: 350 Watts bulb
2001 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA-150是一種用途廣泛、可靠的用於薄基板對齊的面罩對齊器，用於制造微電子器件。MICROTEC MA150基於模塊化結構,由容納光學元件的主機（如鏡頭和照相機）以及樣板組成。光學器件和機構在樣品板和晶片之間移動，由掩模精確對齊。KARL SUSS MA 150的精密光學系統由精密步進電機驅動，X、Y、Z軸和θ軸分別用於在對準過程中精確移動樣品卡盤和掩模卡盤。其獨特的蒙版對晶片對準技術也被用於最小化模式失準，其先進的設計有助於保持精確的對準精度。在性能方面，MICROTEC MA-150具有高達0.5微米精度的高精度能力，最大卡盤到卡盤的行程為15mm。它具有廣泛的曝光能力，最大曝光面積為4.5mm x 6.0mm，X軸和Y軸最大校正24.5°。此外,KARL SUSS/MICROTEC MA150提供高達每小時8個晶片的高吞吐量,具體取決於晶片的大小和復雜性。此外，MA150結構堅固，其復雜的人體工程學技術使其適合各種工業應用。KARL SUSS/MICROTEC MA 150的模塊化結構使其易於維護和維修,公司為客戶提供備件和服務。總之，MA-150是一種適用於微電子器件制造的可靠、通用的掩模對準器。它提供高精度、廣泛的曝光功能和高吞吐量,使其成為各種應用程序的理想選擇。
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