二手 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #9248592 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA-150是一種高精度的掩模對準器，用於微電子工業中基板上材料的光刻圖樣。設備的設計是基於光敏感（光致抗蝕劑）模板與基板的光學對準原理。在MICROTEC MA150系統中,使用了兩個獨立的階段。對齊階段的功能允許操作員將基板和光掩模精確對齊。這是通過一對能夠精確移動基板和光掩模x、y和z軸的海登海因來實現的。該裝置的設計采用傳感器和超精密的手動調整，以最終定位和定位基板。這允許操作員在將光掩模對準基板時達到亞微米精度。該機器還包含一個集成的晶圓對準激光器，該激光器有助於對準過程。這種激光器允許用戶快速查找和定位基板以進行精確對準。此外，由於其高精度和最大對齊重復性，該工具可用於低批量和大批量生產運行。為了保證高光掩模可重復性，KARL SUSS MA 150實現了工業級激光。這種激光能夠在光掩模上產生小於一微米的可重復線位移。這使得資產即使在大型基片上也能達到高精度。MICROTEC MA-150模型也可以接受廣泛的光敏材料，提供了處理各種不同尺寸和厚度的晶片的靈活性。該設備還具有一個集成的冷卻選項，使面罩對準器能夠在整個基板上實現均勻曝光。最後，MA 150系統配備了允許對過程進行完全控制的高級軟件。這個軟件可以用來控制暴露劑量和暴露時間，使得多層圖樣等復雜的過程要簡單得多。此外，該單元提供了控制抗蝕層厚度的高精度過程的能力。