二手 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #9250235 待售
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KARL SUSS/MICROTEC MA-150是電子行業專業人士用於精密光刻的專業級口罩對齊器。它是一種高度精確的儀器,用於將一系列有圖樣的光掩模重復對準和暴露於高分辨率的微結構。MICROTEC MA150包含了許多高級特性和功能,如高度精確的步進電動機、光電編碼器、電動掩碼平移和高級對準系統。該單位的高分辨率光學設備采用自動聚焦機構,在整個模具區域提供極為精確的掩模放置。它的精確控制允許精確對準幾微米內的光掩模。使用自動6軸運動控制,系統使用步進電機來精確控制光掩模在模具上的旋轉、平移和線性運動。這樣可以在模具上精確放置陣列,並確保每次曝光的精度最高。KARL SUSS MA 150還為用戶提供了廣泛的高級功能。其晶片分級裝置具有堅固的設計和可調參數,以優化晶片在曝光室中的定位方式。此機器還在表上包含顏色編碼的對齊指示器,用於顯示模具上的蒙版放置位置。該工具還具有集成的全自動檢查和機器視覺資產,用於檢測和報告模具內的任何基板未對準或缺陷。MA-150為用戶提供了多種工具來確保完全暴露的準確性。它提供了一個LED顯微鏡來輔助手動對準,它也有一個集成的高分辨率相機用來捕捉曝光圖像與曝光條件保存並用於下一個晶圓。KARL SUSS MA150配有各種配件,如口罩裝載機和口罩儲物架,以進一步加強其使用。MA150是為從事困難的工作而設計的,因為它的設計目的是通過單一的曝光設置來處理多達七個級別的曝光。它還允許通過各種用戶定義的設置對曝光參數進行全面優化。這使得它成為尋找精確曝光和對準的可靠工具的人的理想選擇。
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