二手 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #9250236 待售

KARL SUSS / MICROTEC MA-150
ID: 9250236
晶圓大小: 4"
Mask aligner, 4".
KARL SUSS/MICROTEC MA-150是一種用於大面積光刻加工的精密掩模對齊器。它的設計目的是在12-50 cm的尺寸範圍內曝光和繪制圖樣基板,並將其尺寸縮小到納米。MICROTEC MA150采用先進的光刻技術和全方位的曝光技術,如連續掃描、步進/凝視和交替重復掃描。KARL SUSS MA 150具有8軸運動控制設備的模塊化設計。它結合了具有高精度運動能力的優化控制系統,允許高精度、重復性和吞吐量。該單元可以擴展以容納具有多種可互換光學元件的多個掩模級,使其成為一系列光刻應用的理想選擇。KARL SUSS MA150為透鏡操作提供動態聚焦和圖樣照明,允許一致的曝光參數並嚴格控制關鍵過程變量,如均勻性和線寬。該機還具有自動校準程序,以提高精度和吞吐量。MICROTEC MA-150提供了一些用於光學和基板處理的內置功能,如自動註冊、自動縮放和自動定心。這種獨特的工具提供了出色的覆蓋精度,減少了曝光時間,同時還提供了處理不均勻和不規則曲面的靈活性。MA150配備高分辨率電荷耦合器件(CCD)成像資產,用於實時監控和數據采集。該型號還支持標準遠程控制、以太網和USB接口。KARL SUSS/MICROTEC MA150由光刻設備和服務的領先供應商MICROTEC制造。該設備旨在為用戶提供可靠、高性能的科研和設備制造解決方案。MICROTEC MA 150是高精度、高通量光刻任務的理想選擇。
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