二手 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #9250392 待售

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ID: 9250392
晶圓大小: 6"
Mask aligner, 6" Wafer type: Silicon Chuck: Wafers, 6" and mask, 7" Cassette to cassette No BSA.
KARL SUSS/MICROTEC MA-150 Mask Aligner是一款功能強大、用途廣泛的微加工設備,專為各種光刻應用而設計,從半導體器件的納米精密圖樣設計到先進液晶顯示器和光學元件的生產。MICROTEC MA150利用步進電機技術移動精密步進電機驅動的線性級,能夠精確定位基板至6英寸方形。這種基板由附著在舞臺上的真空系統固定在適當的位置。然後將基板與掃描後的圖稿和標線所產生的蒙版對齊,將其放置在上層。此時,上下兩級均與CCD傳感器單元和可微調鏡精確對齊。KARL SUSS MA 150提供365至405 nm的波長範圍,允許暴露於高靈敏度的光刻膠。此外,它還具有在整個基板上均勻的暴露特性.為確保性能一致可靠,在設備上保持高水平的主點,並不斷進行自動自我診斷。KARL SUSS/MICROTEC MA 150 MA Mask Aligner還具有許多高級功能,例如:重復曝光和編程機器,允許用戶產生一系列重復模式;自動操作,具有用戶友好的顯示界面;使用CCD傳感器工具進行自動重新校準。此外,KARL SUSS MA150包括一個自動毛毯清洗和邊緣傳感器識別基板。MA150 Mask Aligner是用質量組件構建的,被認為是可靠和準確的。工程師、大學研究中心和設備制造商相信它能夠提供一致和可靠的性能。KARL SUSS/MICROTEC MA150對於那些希望獲得有效、高質量的掩模對齊器資產且最小停機時間的公司來說是一項寶貴的資產。
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