二手 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #9269842 待售
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KARL SUSS/MICROTEC MA-150是為光刻應用而設計的自動掩模對齊器。這是一個高度精確和精確的設備,能夠產生小的,詳細的功能,低至50納米。MICROTEC MA150提供了卓越的對準精度和可重復性,從而實現了一致、可靠的結果。KARL SUSS MA 150具有較大的曝光區域(最大7 x 8英寸)以及高分辨率的多投影光學頭和成角度的膠片遮罩平面。多投影功能允許使用不同的幾何形狀來實現對齊目標。它還具有高數值光圈透鏡和三種不同等級的激光器(AlGaAs、HeNe或Ar-ion)。該系統可以編程為執行任何類型的光刻曝光,包括接觸、接近和步進曝光。KARL SUSS/MICROTEC MA 150利用獨特的分束技術進行直接曝光打印。這項技術使設備能夠實現面罩相對於基板的精確對準,而不會出現定位錯誤。該機還能實現不同方向的多重曝光。這樣就可以在更短的時間內生成具有復雜特征的模式。該工具設計為易於使用和管理。用戶友好的圖形用戶界面(GUI)允許操作員輕松控制、自定義和監視資產性能。計算機控制的設置,如曝光時間、激光功率和掩模類型,可以進行調整,以滿足廣泛實驗和應用的要求。總體而言,KARL SUSS MA-150是光刻應用的絕佳選擇,需要快速和精確的面膜對準基板。該模型的自動化控制、多種曝光模式以及易於使用的界面使其成為高效可靠的成像解決方案。
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