二手 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #9361613 待售
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

























KARL SUSS/MICROTEC MA-150是一種在光刻過程中用於將圖樣轉移到基板上的掩模對齊器。這種對齊器利用紫外線和精密光學器件在半導體或其他基板上精確對齊掩模,以實現所需的圖樣。這種對齊器主要用於中小型精密光刻作業,其特點從幾十微米到不到一微米不等。MICROTEC MA150 Mask Aligner在光學光刻原理下運行。它使用光源(通常是紫外線光源)將綠光投射到基板上,並使用帶有設計標記的遮罩。遮罩上的設計標記會阻擋光線的各個部分,從而在下面的基板上創建設計的陰影。面罩由精密電動系統固定在適當位置,可提供高達0.2微米的對準精度。KARL SUSS MA 150是一個方便的機器,它的大小,因為它可以容納幾乎任何清潔的房間或實驗室。與其他類似對齊器相比,它的占地面積較小,並且易於設置和操作。一旦設置,MICROTEC MA 150可以半自動或手動操作。此外,它的直觀用戶界面允許用戶輕松調整對齊器設置,使其成為快速掩碼處理作業的理想選擇。由於其高精度的光學對準系統,MA-150可以在600至1100 nm的範圍內實現分辨率。它還具有>90%的高成像均勻性,並且由於其先進的高階光學器件而具有良好的聚焦深度。MA 150采用環境友好型紫外線掃描鏡頭設計,意味著它可以在空氣、幹燥氮或氧氣環境中使用。KARL SUSS MA150是一種高級掩碼對齊器,允許用戶精確地將圖樣傳輸到具有高度細節的基板上。其易用性和強大的光學系統使其非常適合需要高精度的中小型工作。
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