二手 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #9384739 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA-150是為半導體器件制造中的光刻工藝設計的全自動掩模對齊器。用於將微電子電路模式傳遞到晶圓表面。MICROTEC MA150通過石英光學窗口將高達15毫瓦（mW）的暴露能量傳遞到抗蝕劑覆蓋的晶片。KARL SUSS MA 150具有多種功能,包括高對齊精度、寬視野和高吞吐量。為了準確定位和對準掩模和晶片，設備配備了高分辨率視覺對準系統和可選的自動對準單元。KARL SUSS MA150還具有高折射率的石英光學窗口、從0.1mW到15mW的曝光能級、波長在535-650nm之間的光源以及覆蓋7英寸晶圓的大視野。該機針對半導體曝光過程進行了優化，具有高的曝光精度和可重復性，高吞吐量，且價格低廉。MICROTEC MA-150可以在廣泛的溫度範圍內操作,包括溫度低至50攝氏度,以確保整個晶圓的光刻膠曝光均勻。KARL SUSS/MICROTEC MA 150易於使用，配備了用戶友好的觸摸屏顯示屏和各種可編程保存的曝光配方。該工具還能夠進行暗場和亮場成像，從而更容易檢測缺陷。曝光模式可以存儲在內存中,並被召回以重復曝光。此外，MICROTEC還提供了可選的曝光生成器軟件，可用於修改存儲的曝光模式。MA150是一種高性能對齊和光刻資產,可提供可靠、可重復的結果,非常適合要求苛刻和精確的光刻工藝的應用。它是一種用途極為廣泛、功能強大的小規模和大規模集成電路制造工具。