二手 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #9389834 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA-150是一種專業級、自動化的掩模對準器，設計用於在非常精細、復雜的集成電路晶片空間中執行精確的光刻操作。此對齊器堅固、精確且模塊化,允許根據各種用戶需求進行定制。MICROTEC MA150是一種全自動光刻設備，具有安全可靠的真空密封無擺動室，可提供精確、可重復的對準和晶片均勻暴露於1-99晶片掩模中。該系統還具有低強度機械子系統，即使在容易振動的環境中也能實現精確操作。KARL SUSS MA 150具有24位納米級分辨率和內置智能過程控制單元，可實現亞微米對準精度以及穩定、精確的曝光控制，無條帶或其他圖像缺陷。此外,該單元還具有靈敏的光學模塊,能夠測量焦距高可重復性的小區域,從而能夠精確定位掩模和晶片。KARL SUSS/MICROTEC MA150還具有一個可移動的舞臺，用戶可以根據自己喜歡的規格輕松調整機器。該裝置允許使用多種技術，如濕蝕刻、光刻膠開發和固化、真空濺射和熱處理。該工具還可用於使用間歇室技術處理厚晶片。該資產能夠提供厚度達1.5 μ m的薄膜,以及高達1.7 nm線寬的遮罩。此外,該模型允許使用即時標線,從而使用戶可以在光刻過程中自由進行設計更改。MA150還支持一個用於設計光刻工藝的綜合配方庫。該設備還提供靈活的自動校準選項和集成校準監視器,確保順利和準確的處理。此外,MA 150與MICROTEC產品線中的其他系統兼容,允許將配方從一個系統一鍵傳輸到另一個系統,從而提供高效靈活的生產解決方案。