二手 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #9395014 待售
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ID: 9395014
晶圓大小: 4"
Mask aligner, 4"
Cassette to cassette
Contact / Proximity mode
Does not include BSA
Power supply: 220 V, 60 Hz.
KARL SUSS/MICROTEC MA-150是一種掩模對齊器，通常用於在微加工過程中將納米結構對齊並暴露在基板上。它能夠將納米制造模式、電子束組件和半導體組件等結構暴露在基板上。MICROTEC MA150提供了掩模與基板的精確對準以及納米結構所需區域的精確曝光。KARL SUSS MA 150具有多種特性，使其成為微加工的理想工具。它是一種高精度的機器，位置精度高，重復性好。它使用固定的分束器和步進電機掃描設備對準掩模和基板，準確地暴露所需的納米結構。它還內置了控制軟件，以確保精確的處理參數。MA-150具有出色的溫度控制,可提供從毫秒到分鐘的曝光時間,具體取決於要曝光的材料。該機器提供可編程的自動曝光，並支持不同的曝光序列，以制造復雜的模式。此外,它的開放式體系結構設計允許其他組件集成到系統中。MA150配有一系列曝光源，包括一個300-W氙弧燈、一個150-W鎢燈、一個相幹激光二極管（CLD）激光二極管和一個激光直寫（LDW）曝光頭。曝光源可以在濕板和幹板之間自動切換。對準單元允許在1微米的分辨率下精確曝光，並密封對準室以保持真空。KARL SUSS/MICROTEC MA 150還支持多種材料，包括半導體材料、光敏材料、復合材料等。該機器允許使用標準掩碼和許多高級掩碼技術。該工具還支持一系列抗拒開發解決方案，多個過程可以集成到單個曝光序列中。KARL SUSS MA150是生產小型電子零件的經濟高效且用戶友好的口罩對準器。其精確度和精確度使其成為微加工工藝的理想工具。該資產旨在支持各種接觸源和材料，並為用戶提供準確調整和暴露結構的高效流程。
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