二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 150c #9379206 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 150 c是最先進的掩模對齊器。它是一種高度先進的機器，能夠進行光刻、光刻和蝕刻，用於各種微電子器件的制造過程。MICROTEC MA 150 c具有兩室設計,具有獨立的清潔室兼容工藝室,可用於手動操作,以及自動、曝光和曝光後應用程序。KARL SUSS MA 150 C具有剛性鍛造鋁結構，在其1.5m的全工作高度上提供了高度剛性的支撐。這種結構還塗有均勻的黑色環氧樹脂，用於熱和光吸收。其緩沖良好的Y-Z和Θ-Φ軸提供了高度的精確對準，同時保持高達20千克物體的高容量。整個工作區域可容納203毫米x 203毫米大小的平坦表面。KARL SUSS/MICROTEC MA 150 C具有一個集成的激光對準系統，該系統由兩個機櫃內激光源和一個掃描鏡組成，允許在光掩模定位方面具有很高的精確度。為方便起見，它還包括一個半自動的4軌晶片和曝光處理程序，允許在幾秒鐘內放置和交換光掩模和晶片幀。除了光刻，KARL SUSS MA 150 c還配備了全自動開發站和曝光後槽模塗層。開發站和槽模塗料可以精確沈積不同類型的光致抗蝕劑。曝光後,蒙版將自動轉移回對齊器,以便進行蝕刻過程（如果適用）。MA 150 c專為高吞吐量而設計,平均φ超過0.2微米φ掩碼對準精度。在提供完全自動化的同時，它還有一個易於使用的用戶界面，它提供了對機器過程的方便控制和監控。MA 150 C通過15至35°C的集成Peltier模塊進行溫度控制，設計為保持恒定溫度，確保結果一致。總體而言,MICROTEC MA 150 C Mask Aligner是一款最先進的機器,可提供高精度和精確的Mask對準,結合全自動化和用戶友好的控制界面,使其成為微電子設備制造的理想系統。