二手 KARL SUSS / MICROTEC MA-150E #9131075 待售
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KARL SUSS/MICROTEC MA-150E是一種自動化的掩模對準設備，在許多應用中用於精密微加工，如光刻、薄膜沈積和太陽能電池生產。該系統專為高精度、高通量性能而設計。它由一個主控制單元、一個步進電機、一個真空卡盤、一個對準傳感器以及一系列可以通過一系列階段移動基板的鉸接臂組成。MICROTEC MA 150E中的主控制單元是具有直觀用戶界面的微處理器控制單元。它可以方便地編程和操作機器。工具的所有組件都可以從界面進行控制，從而可以精確控制基板的對準和曝光。步進電動機是一種低能電動機，允許鉸接臂的精確定位和運動。真空卡盤負責在暴露過程中將基板牢固地固定在適當的位置。然後，對準傳感器測量基板的傾斜度並進行任何必要的校正。資產提供手動和自動對齊選項。對於手動對齊,在卡盤和支架上都有對齊標記,從而可以方便地看到參考點。這樣可以精確定位和對齊材料。自動對準選項使用「光學自動定心」技術來識別標記並自動進行校正。這簡化了流程，減少了用戶互動。KARL SUSS MA 150 E由於提高了精度和改進了用戶界面，能夠比大多數普通掩碼對準器更快的操作。它可以達到25nm的分辨率,根據所需的質量,曝光時間為8到250秒。它易於使用,並且需要最少的維護,因此是大型掩模對齊項目的理想選擇。其可靠性和準確性使其成為業界領先的模型。
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