二手 KARL SUSS / MICROTEC MA-151 #9095086 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA-151是微電子工業中用於制圖薄膜和晶圓加工、光刻和光刻的計算機控制掩模對齊器。該設備包括一個XYZ移動級、高精度定位系統和一個獨特的投影光學單元，該單元允許晶圓或基板上的圖案和特征精確對準和曝光。MICROTEC MA-151能夠對直徑不超過4.0英寸的晶片進行陣列設計。KARL SUSS MA-151的XYZ移動階段允許基板和掩模相對於彼此進行高精度定位。其高精度定位機使用一系列激光對準傳感器，可檢測到低至0.2微米的失準，確保掩模與基板完美對準。這樣就可以實現精確的高分辨率陣列。MA-151的投影光學工具包括一個最先進的工業領先的卡爾蔡司鏡頭，一個高功率的氙燈，和一個光控制器。這種組合允許納米尺度特征以非常高的分辨率在基板上形成。KARL SUSS/MICROTEC MA-151的光控制器具有廣泛的可調設置，包括曝光持續時間和強度，使用戶可以微調特定應用程序的制圖過程。MICROTEC MA-151使用了獲得專利的幹式移動機制,可提高效率和結果的可重復性。這樣可以減少設置時間和每個周期之間所需的時間。資產還配備了全面的圖形用戶界面，及時反饋模型的現狀，以及各種操作的進度。總之，KARL SUSS MA-151是一種高精度的掩模對準器，用於對晶片或具有納米尺度特征的基板進行陣列設計。其精密的XYZ移動臺、高精度的定位設備和先進的投影光學器件確保了微電子特性的精確對準和曝光，使MA-151成為光刻和薄膜晶片加工、檢驗和光刻操作的理想選擇。