二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 CC #9182471 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 200 CC Mask Aligner是一種自動光刻系統，用來將圖樣從光掩模轉移到晶圓。它通常用於制造半導體器件和其他微機電器件。MICROTEC MA 200CC對於高精度和重復性至關重要的應用來說是一個經濟高效的解決方案。KARL SUSS MA-200 CC是圍繞幾個關鍵組件構建的,例如微共振（MR）級,它提供了光掩模在晶圓上精確且可重復的對齊方式。MR級與基於壓電的對準系統耦合，該系統提供了面罩相對於晶片的垂直和橫向定位精度。此外,KARL SUSS MA 200 CC采用高通量、高分辨率6英寸步進器,可提供高達340 µm/秒的光學通量,在X、Y和±中的對準精度為Θ 1 µm。在操作中，將一個光掩模加載到MR級，然後使其靠近晶片。然後光掩模和晶片光學對齊參考標線標記和一個涼爽的白色LED。這種對準是在晶圓對準和曝光之前使用三照相機方法進行的。對準完成後,晶片曝光,然後將MR級移至下一個曝光位置。完成所有曝光後,將卸載光掩碼,並加載新的光掩碼以進行進一步曝光。除了這種傳統的光刻工藝之外，KARL SUSS MA 200CC還包括一個自動協議，用於同時對齊和曝光多個晶片，以最大限度地提高生產率。MA 200 CC具有多種特性,使其成為半導體器件生產中必不可少的工具。它提供0.5 μ m到10 μ m的分辨率，並且可以暴露各種底物材料如聚合物和雜種。此外，它的價格具有競爭力，而且能夠適應各種工藝步驟和材料。MICROTEC MA-200 CC是一種通用可靠的工具，可以滿足制造高價值微電子器件的艱難要求。因此，它已成為任何光刻實驗室制造復雜微型設備的重要組成部分。