二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 Compact #9289493 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 200 Compact是一種自動化、全自動、掩模對齊器,旨在方便、精確地平面化用於顯微光刻的光掩模。它是一種閉環面罩對準器，利用專利的光束轉向技術，以高精度快速對準面罩。對齊器具有獨特的剛性四列框架,可實現多種對齊策略。MICROTEC MA 200 Compact的低振動設計和直線滑動設計提供了出色的長期穩定性和可靠的效果。KARL SUSS MA-200 COMPACT有兩種掃描機制。第一種是專利的光束轉向自對準機構，使用主動和被動元素在指定位置的幾納米範圍內自動對準掩模。第二種是一種固定的梁偏轉機構，其視場可達2000 μ m，允許廣泛的陣列覆蓋。對齊器可以配備各種卡盤和晶片級，並具有有序的晶片交換系統，便於快速改變掩碼。KARL SUSS/MICROTEC MA-200 COMPACT配有激光二極管激光器自動對準和連續覆蓋玻璃掃描系統，用於邊緣檢測和驗證。KARL SUSS MA 200 Compact設計為提供精確的橫向對準精度，自動處理直徑達200毫米、厚度達4.5毫米的晶片。此外,MICROTEC MA-200 COMPACT還配備了兩個集成的精密掃描透鏡,可將樣品成像到掩模上以正確對準。這些透鏡是完全消色差的，設計提供最大的成像靈活性。這種對齊器還具有掃描加速度計減少振動、平面內校正機制等先進功能，以消除由於晶圓彎曲而留下的任何對齊殘差。MA 200 Compact提供簡單的操作和最小的操作員培訓,為不間斷的生產提供多層次的用戶訪問。具有圖形用戶界面、易於校準和多個測試/驗證步驟的用戶友好型設計使操作員能夠使用掩碼對齊器快速啟動和運行。MA-200 COMPACT為掩碼處理提供了最大的可重復性和多功能性,是高精度光刻應用的理想選擇。