二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 Compact #9350986 待售
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KARL SUSS/MICROTEC MA 200 Compact是一種適用於微電子器件小批量生產和原型制作的掩模對齊器。它非常適合於制造光刻膠掩模,特別適合於高屈服率的非標準器件幾何形狀的快速周轉。MA 200的緊湊設計使您可以輕松進入工作區,緊湊的框架提供了高度的可重復性和精確度。它具有一個長的精密磨碎玻璃板,用於精確對準光掩模和基板。這確保了在移動焦點方向時的精確重復性,以及對暴露區域的精確測量。該機器還提供高達6 μ米的高分辨率對準。MA 200的機械操作由直驅伺服電動機提供動力,高速掃描能力高達200毫米/秒。曝光系統是光譜為400 nm至1060 nm的二極管線激光器,精確到波長的1%。這種激光器具有可調的光斑尺寸,提供了產生微米大小圖案的靈活性。MA 200使用獨特的電子性能監控來密切觀察對準誤差,並在誤差超過一定閾值時中止曝光周期。MICROTEC Mask Aligner還包括實時糾錯的檢查系統和提高的過程精度。該單元使用方便。直觀的觸摸屏顯示屏提供系統性能的實時反饋。MA 200是按照ISO 9002質量標準制造的,以實現最佳的可靠性和長期性能。維護單位簡單,成本效益高。所有附件和組件均在同一ISO 9002兼容環境中制造,以確保與其他標準組件的兼容性和兼容性。總體而言,KARL SUSS MA 200是生產光刻材料和設備幾何形狀的可靠且經濟高效的工具。它提供精確的對準、精度、重復性和速度,使其成為微電子零件快速原型的理想解決方案。
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