二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 EL #9193662 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 200 EL是一種掩模對齊器，設計用於光刻工藝，在微電子器件中創造微米或亞微米的特征。適用於光掩模、復制品、微加工、MEMS、金剛石車削（超精密光學金剛石切割）等應用。設備使用小型高速掩碼對齊器將所需的圖案精確指向光掩碼，然後將掩碼暴露在底層上。設備配有6軸運動系統和電動顯微鏡，可相對於基板精確對準。該單元還包括一個可變角度和一個電動縫隙孔，用於微調曝光參數。MICROTEC MA 200 EL由X-Y掃描階段控制。它能夠提供高達200 x 200 mm的工作區域和高達25 x 25 mm、高達1 µm場精度的若幹樣品基板。最大速度為3.5米/秒。該機采用高性能的16位SPiD-2控制器，與運動級控制電動縫隙，實現亞微米精度對準。它還包括一個基於FPGA的視覺工具，能夠自動識別底層位置。KARL SUSS MA200 EL包括改進的單掩模、單曝光模式，曝光時間長達5秒。它能夠根據設計布局自動控制曝光參數。通過偏轉控制提高了對準的準確性和可重復性。此外,資產還能夠手動調整掩碼和芯片之間的垂直未對齊角度。該設備體積小巧，重量輕，易於維護，是實際工藝工程和開發應用的理想選擇。它可以輕松集成到標準的清潔室環境中。