二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #293618545 待售
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KARL SUSS/MICROTEC MA 200是一種蒙版對齊器，旨在曝光、開發和查看微電子技術中使用的蒙版圖樣和對齊標記。它用於在廣泛的基板上創建高精度和錯綜復雜的圖案，如光刻膠、不銹鋼、鉻表面和多晶矽。該機器的Mainframe由多種可選組件組成,最多可支持四個基底,從而提供靈活性以及一系列生產效率和節省成本的選項。用戶通過彩色TFT觸摸屏操作Mask Aligner,提供方便直觀的界面。可以使用不同的對齊方法,包括邊跟隨和特殊的對齊技術,如離軸移位,以定義的偏移和用戶指定的精度來註冊IC特征。MICROTEC MA200利用波長為365 nm的先進光學設備,提供0.40的集成NA。該系統可提供出色的分辨率、良好的逐場平坦度和恒定的照明。為了查看模式,安裝了具有4096 x 4096 px分辨率的高分辨率CCD傳感器。為了精確對準臨界接觸孔圖樣,可以使用特殊的「單瞳孔」,這有助於減少通過掩模的光量。這提供了一個可以與預定目標區域精確對齊的截然不同的光邊緣。KARL SUSS MA-200還配備了一個自動化開發站，該站自動將基板轉移給開發者，補充化學品，然後將其返回到模塊。這樣可以消除流程停機,從而提高吞吐量。為了進一步方便用戶,可以通過模式驗證提供自校準功能,自動將對齊模式或對齊標記與存儲在單元中的標準參考進行比較。為了進一步的數據保護，機器包括一個Autowrite函數，允許在停電時存儲和召回圖像處理參數。這樣可以確保保留所有設置,然後保留處理的信息。最後,MA-200附帶了一個功能強大的基於Windows的軟件,用於控制計算機和管理流程數據。該軟件提供了廣泛的報告功能,以及全面的流程數據預覽和後處理選項。軟件還可以將校準參數從一臺機器傳送到另一臺機器，或者從一個模式庫傳送到另一臺機器，從而便於重現。
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