二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9180516 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 200是一種掩模對齊器，旨在提供一種快速和高度精確的方法，將掩模圖樣轉移到微芯片制造中使用的基板上。它利用極紫外線（EUV）來制造對半導體基板的曝光，然後開發、成像和測試。MICROTEC MA200非常適合需要高精度和短周期的生產運行,特別是在具有復雜幾何形狀或高密度的處理設備中。該設備提供了出色的亞微米對準精度，這是通過使用多曝光刀頭的能力提高。KARL SUSS MA-200由基於PC的軟件控制,使用戶能夠存儲、編輯和重復進程步驟和對齊方式。遮罩對齊器利用可視步驟將遮罩精確對齊到晶圓上，這有助於減少錯位。該系統還為每一層提供可重復的數據，使每次微調過程步驟和改進結果變得容易。KARL SUSS/MICROTEC MA-200包括高速掩碼傳輸機制、用於精確焦點控制的差分焦點反饋機制、高分辨率圖像查看器和直觀的圖形用戶界面等功能。該設備設計方便維護,具有可快速更換的冗余插件組件。它還包括用於監視和控制可操作性的高級安全機器,以及用於檢測操作過程中可能發生的任何錯誤的內置軟件錯誤檢查功能。對所有安全聯鎖裝置進行監測和整合，以便有效和安全地運作。MA200是一種可靠、高效的掩模對齊器,能夠快速、精確地將圖樣傳輸到微芯片制造過程中使用的表面。它提供了一個非常精確和可重復的過程,以及自動聚焦控制、高分辨率查看器和直觀的用戶界面等功能,可幫助生產高質量的微芯片。