二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9222504 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 200是一種自動化的掩模對準器，用於生產微電子器件中的光掩模的精確對準和曝光。MICROTEC MA200提供了實現現代微電子制造產量所需的精度和速度。KARL SUSS MA-200使用階梯式對象表在X、Y和Z方向上精確對齊形狀和大小各異的電子設備。通過其精細的螺距級與精確的機械對準相結合，可以實現電子元件的亞微米精度定位和快速的設置時間。MICROTEC MA 200利用65,000個位置的超細螺距機械對齊XY表定位物體或基板。Leica光學器件提供200 mm的視場,以獲取具有高背景對比度甚至低光照水平的工作場,而白光源為對準目標提供廣域曝光。KARL SUSS/MICROTEC MA200提供多種曝光功能,最多可配備四盞石英輻射燈,以及各種可互換的紫外線和可見光光源。這些燈連接到最大設置為1000 Watt/cm2的電源。電源可確保均勻、一致地最大程度地暴露於基板。MA200配備了激光基準對準,以實現零件對準的最佳精度,並具有多種步進和重復功能。通過自動將相同的結構重復到基板上的多個位置,可以有效地利用基板空間。KARL SUSS MA 200為分析全球暴露均勻性提供了一個新穎的框架。該系統結合了全球非均勻性補償（GNUC）和高級過程控制（APC），並提供實時反饋和自動調整，從而提高可靠性和更好的產量。MICROTEC MA-200掩模對準器是高效、準確的光掩模生產的重要工具.其高精度機械對準、多重曝光功能、激光基準對準、APC系統等都是為幫助生產微電子行業的優質光掩模而設計的。