二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9238448 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 200是一種掩模對齊器，利用先進的精密對齊特性來確保光刻掩模的精確對齊。這種遮罩對準器提供了1.25 µm步長的遮罩極精確的對準，最大光學元件± 2.2 µm。它采用精密電動機設計,可提供高質量的性能,並為要求最苛刻的對齊任務提供可重復性和動態響應。MICROTEC MA200具有頂端的5軸定位設備，並使用步進電機、直驅電機和線性編碼器的組合，在X、Y、Z和Theta方向自動移動掩模，以確保精確對準。它還具有用於安全蒙版加載和ESD保護的真空卡盤,以確保您的蒙版保持完美的工作狀態。KARL SUSS MA-200提供高速對準和優化成像,以實現盡可能高的精度和吞吐量。對準系統還具有高速自動對焦功能和改進的圖像質量,以及強大的對準軟件。此掩碼對齊器還與高級視覺處理器集成在一起,以確保快速準確的測量。它包括一個精確校準單元，以確保光路精確對齊，提供最高水平的精度和可重復性。此外,KARL SUSS/MICROTEC MA-200還具有可定制用戶界面、自動信息子系統、熱補償機和精確PSD校準等不同的功能集。MICROTEC MA-200設置用於空氣軸承對準,並配備了方便的安全鎖定功能和狀態監控,以方便用戶。它還包括一個用於快速多掩碼掃描的檢測器陣列，並設計了一個先進的冷卻工具，以便可靠的操作。KARL SUSS MA 200采用最新的光學對準技術設計,是各種光刻應用的理想選擇。MA 200具有高精度的對準特性和強大的性能,是精確可靠的光刻面罩對準的完美工具。