二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9238449 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 200是在微電子學中用於光刻和光學對準應用的多功能掩模對準器。該工具可以是中小型生產運行、研發、原型制作和低批量生產的經濟高效的解決方案。此對齊器具有用於圖像查看的大型液晶顯示屏（LCD）、可移動遮罩支架、用於自動對準的雙光束激光監視器以及XYZ級的自動索引。它設計了一個208毫米x 208毫米的曝光區域和最多5毫米對準基板。MICROTEC MA200包含先進的光學設備,使其能夠產生高精度、高重復性和最小失真的復雜集成電路。可調鏡頭系統由三個獨立的鏡頭選項組成,範圍從2X到10X。光學器件采用大孔徑，可有效捕獲光束，長工作距離13.5mm，以優化聚焦深度和精度，並采用機械對準裝置，便於調節遮罩支架。用於自動對準的主激光束監視器是帶有傾斜掃描儀和聲光分束器的雙軸機器。KARL SUSS MA-200采用高速控制處理器,可讀取、顯示和存儲多達16個不同圖像的數據。處理器還控制對齊和源對齊系統,允許用戶重復以前的曝光運行並確保可重復的結果。此外,對齊器還具有內置的曝光和定位監控工具,可減少曝光時間並幫助避免過度曝光。MA200的初始設置非常簡單,只需要用戶選擇用於曝光和對齊的參數。該資產可編程為與光刻膠、焊膜、幹膜抗蝕劑等多種材料配合使用。此外，暴露和對準過程很容易配置有多個進場臂、多種控制暴露的方法，也沒有其他必要的工具來達到最佳效果。總體而言，KARL SUSS/MICROTEC MA-200是一種可靠且用戶友好的微電子制造口罩對準器。這臺機器的經驗豐富的用戶可以受益於其自動對準和索引功能,以及靈活的對準區域和可調節的光學器件。通過允許用戶輕松配置曝光參數和重復曝光運行,此工具是中小型生產運行和研發項目的經濟高效且靈活的解決方案。