二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9239896 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 200是一種微光刻面罩對齊器，用於制造印刷電路板、半導體集成電路以及其他各種平板顯示器。本產品設計用於在曝光過程中將光掩模與工件精確對齊。面罩對準器有兩個運動軸，能夠連續兩次運動，使面罩和基板的對準度達到所需對準規格的0.2 µm以內。MICROTEC MA200的精確度和準確度通過其先進的對準設備得到加強，該設備包括測量x、y和θ坐標定位的光束。此外，系統還有一個多針定位單元，屏蔽外部輻射，三個燈聚焦補償控制，以及自動對焦控制，以確保對準保持在精密規格內。KARL SUSS MA-200具有幾個提供光學光滑曝光過程的功能。該機器配備了數字微米讀數，以及半自動聚焦和曝光控制。曝光光學器件提供了曝光場的均勻照明，使得首次曝光率達到98%成為可能，同時也消除了失真。曝光光學器件提供高分辨率以及高速曝光模式。KARL SUSS/MICROTEC MA200分為三個階段：曝光階段、預對準階段和註冊階段。曝光階段有利於光致抗蝕劑和底物的曝光。預對準階段允許定位光掩模和基板對準，同時將配準誤差保持在對準目標的0.2 µm以內。配準階段允許對基板和光掩模進行精確定位，並監控配準錯誤。MA200是一種可靠的性能屏蔽對齊器和可靠的顯微光刻工具。其高精度和精密的對準工具已被證明是可靠的微電路印刷和半導體和平板生產。因此，它已成為專業的微圖設計者和制造商的首選。