二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9266484 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 200是一款精密掩模對齊器,以其先進的功能和易用性特別突出。MICROTEC MA200是為滿足各種光刻需要而設計的,包括微機械、微流體、微光和半導體工藝。KARL SUSS MA-200提供全方位的光刻功能，如先進的成像優化、叠加精度、劑量控制、相同的工具切換以及溫度、真空和清潔的集成監控。它具有許多自動化功能,可最大程度地減少用戶輸入,使其成為需要精確對齊和可重復性的用戶的理想選擇。KARL SUSS/MICROTEC MA200具有高度可定制的用戶界面,使用戶能夠最精確地控制其操作。它配備了眾多優化基板處理的平臺選項，包括陶瓷板、加熱板以及電動面罩和晶片。它可容納6英寸和8英寸晶圓，並具有0.25微米的叠加精度、0.05 µm/min的曝光率以及100 x 140mm的最大寫入格式。KARL SUSS/MICROTEC MA-200是一種全自動激光對準器和機器，具有先進技術，如精確測量系統、高分辨率光學器件、精密臺式驅動系統和溫度控制。它采用了具有SUSS優勢的激光對準系統，能夠在晶片上精確定位掩模，而無需任何掩模提升。電控軸電機使對齊器的表驅動器能夠與對齊過程完美同步,從而實現無與倫比的精度。MA200有一個集成的硬盤,可存儲所有對齊器參數和吞吐量數據,從而便於參考和訪問。此外，它與SEMI PV3000界面兼容，使用戶能夠與其他設備進行自動數據交換。此外,MA-200符合CE和EC的要求,同時遵守工業和安全標準。總之,MA 200是一種高性能的掩模對準器,具有用戶友好的界面、先進的激光對準技術和先進的基板處理能力。它提供了盡可能高的準確性和可重復性，使其成為所有光刻需求的完美選擇。