二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9298780 待售

KARL SUSS / MICROTEC MA 200
ID: 9298780
晶圓大小: 8"
優質的: 2013
Mask aligner, 8" 2013 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA 200 Mask Aligner是用於光刻工藝生產集成電路的一種最先進的工具。MICROTEC MA200提供了優越的準確性和可重復性比其他的多合一掩模對準,使其成為理想的生產應用,其中設備產量和準確性是至關重要的。KARL SUSS MA-200利用「XY表處理基板」。這允許設備在平版印刷過程中將基板精確定位在X-Y平面中。此外,MA-200還具有「Auto-Z」特征,它使用磁頭自動檢測基板的厚度並相應調整對齊方式。這樣可以最大程度地減少人為輸入的錯誤,並確保平版印刷過程能夠準確執行。另外,MA 200遮罩對準器有一個集成的真空室,在光刻循環中將基板牢固地固定到位。這樣可以防止基板因外力而移動,並確保過程的準確性和可重復性。MICROTEC MA-200還具有允許用戶自動進行對齊、步進和重復循環的功能,從而允許更快的處理時間。系統主要通過運行基於Windows的軟件的外部PC進行控制。這使得KARL SUSS/MICROTEC MA200易於使用,因為所有設置和調整都可以通過PC進行操作。這臺PC還將所有工藝細節存儲在硬盤上,從而實現所有光掩碼數據的高效重復性和可追蹤性,包括設備參數、基板和曝光配方。最後,MA200面罩對準器利用封閉的紫外線光源,使其能夠同時進行硬質和軟質的紫外線光刻。這使得它成為原型開發和生產卷運行的通用工具。總體而言,KARL SUSS MA 200是一種可靠、精確的掩模對齊器,適合各種集成到現有生產線中。它具有優良的重復性,全面的用戶管理系統,能夠兼具硬質和軟質的紫外線光刻功能。
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