二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9356073 待售

KARL SUSS / MICROTEC MA 200
ID: 9356073
晶圓大小: 6"-8"
優質的: 1995
Mask aligner, 6"-8" 1995 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA 200是一種精密的掩模對齊器,旨在處理廣泛的光刻應用。它能夠產生精確對齊的高質量圖像。MICROTEC MA200是半導體器件制造、先進光電、MEMS等領域批量生產、原型制作和研究的絕佳選擇。KARL SUSS MA-200使用基板卡盤設備將基板及其所需的掩模固定在曝光階段。180 mm x 120 mm精度階段允許在兩者之間進行嚴格和可重復的配準。這樣可以精確對齊精細幾何形狀,精度為0.5 um。6.0英寸(152.4mm)的最大輕松曝光面積可擴展整個龍門的可用區域。KARL SUSS/MICROTEC MA200使用高度可靠的固態氙氣燈在基板上傳遞均勻的光場。該燈還配有濾光輪,以創造多波長曝光選項。此外,該裝置還配有內置的快門控制裝置,可提供全方位的曝光能量。此外,獨立的散射快門為用戶提供了在曝光中塑造所需能級的選項。在溫度控制方面,KARL SUSS MA200標配Peltier冷卻系統,以確保整個過程的溫度一致。這樣可以在各種材料中實現可靠的可重復性。此外,該裝置還配備了氣體過濾器/凈化器裝置,以清潔進入的氣體並盡量減少汙染。安全是MA 200的優先事項,因為當工具運行時,機器會自動執行安全功能。在運行MICROTEC MA 200時,眼部保護至關重要,因為該裝置在使用時會產生危險的紫外線輻射。為了進一步安心,資產還配有專門的安全聯鎖,隨時保證人員安全。MICROTEC MA-200是一種功能非常強大的機器,為各種光刻應用提供精確的對準和可重復性。非常適合研究、開發和制造,MA200是需要精確光刻的項目的可靠和高效的選擇。
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