二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9381588 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 200是在光電、IC、MEM和薄膜器件生產中用於創建圖樣和光刻的高精度掩模對齊器。它具有高分辨率的步進級,可以使設備與接觸孔、隔離元件、通風孔甚至大電路精確對齊。MICROTEC MA200的光學設備使用照明的4微米標線和快速步進的Galvo掃描儀，達到1 µm的精確分辨率。光源是一種鹵素燈，用於快速曝光時間和整個基板上均勻的照明場。收集到的光通過單色儀，該單色儀減少環境光，確保樣品表面的頻率均勻。KARL SUSS MA-200具有堅固的外殼，由不銹鋼構成，室溫範圍為15°C至25°C，加上10%至80%的濕度範圍。它還配備了自動晶片處理、有助於進入基板的電動門以及真空密封室。該對準器還包括一個自動對焦系統，能夠在施加壓力的同時調整位點的高度，以保持基板和標線之間的接觸。這使得實現更高精度更容易，尤其是在對齊小蝕刻特征方面。KARL SUSS MA 200的模板輔助掩蔽功能允許在不同基板或圖樣之間更快速地切換,而無需其他工具。它還具有集成的光譜反射測量單元，以監測設備特性的黑暗和對比，幫助生產周期調整。內置通信機器允許使用以太網和RS-232等標準接口進行編程。MA200是一種非常精確的掩模對齊器,非常適合IC、光電、薄膜設備和MEM的生產。其高性能光學器件和自動對焦工具確保了基板和標線之間的完美對準。它還包括模板輔助掩蔽、集成光譜反射法和通信能力。所有這些特性使得MICROTEC MA 200成為高精度設備生產的理想選擇。