二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9394463 待售
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KARL SUSS/MICROTEC MA 200是一種用於製造微機電系統（MEMS）裝置的電腦化掩模對準器。它用於在單個掩模上與樣品表面精確對齊設計圖樣,通過光刻過程可以精確地形成圖樣。MICROTEC MA200由兩個主要組件組成：主機和掩蔽與對齊站。大型機包含所有電子設備、運動控制系統和4.3英寸超高分辨率液晶顯示器。掩蔽和對準站包含光學元件，如Quick-Align Quad Microscope，它具有遠程中心d30/80變焦鏡頭系統和+0.7微米精度的水平/垂直對準。它還具有用於控制對齊操作的「向導」接口。KARL SUSS MA-200具有多種功能,使其成為MEMS處理的可靠高效工具。它的高加速度和高達135 µm/sec的高速，使它能夠快速準確地對齊口罩。它有一個階梯式對焦調節旋鈕，允許快速和精確的光學設置。此外，對準器還具有防撞傳感器、用於安全聯鎖的外部聯鎖端口、緊急停止開關等幾個標準安全功能。KARL SUSS/MICROTEC MA200是一套可靠的光刻系統,可提供大小、形狀和復雜性各異的對象的精確對齊方式。該系統提供卓越的圖像分辨率,確保卓越的聚焦深度,並提供更高的分辨率（0.1微米精確度）。它還為多個任務提供了多個磁頭,並為易於操作提供了符合人體工程學的設計。此外，對齊器還具有自動校準功能，以加快處理時間，並對更清晰的圖像進行可變強度照明。總體而言,KARL SUSS MA200是用於MEMS處理的高級高效工具。
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