二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9394467 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 200是一種掩模對齊器，用來在基板表面，通常在半導體晶圓或薄膜器件上創建光刻圖樣。該儀器采用晶片掩模方法，以高度精確的方式將掩模與晶片對齊。MICROTEC MA200提供全場對齊,確保基板上的精確且可重復的陣列。KARL SUSS MA-200具有一個XY theta級和一個6軸運動面罩架，其設計目的是確保面罩與晶圓的精確和可重復的定位和對齊。該機的驅動設備采用高速伺服和高精度直線軸承，可提供快速和可重復的步進和重復對準和曝光。MA-200還有一個先進的照明系統，利用LED產生各種波長的曝光光，並進行精確的曝光控制。KARL SUSS/MICROTEC MA200的光學套件具有可互換的目標,可以有效地縮放圖樣。曝光單元利用掩模和晶片之間的瞳孔繼電器光學器件確保精確成像，而觀察光學器件包提供步進放大和實時檢查。該機設計靈活，可接受多種面具和基板，布局類型廣泛。KARL SUSS MA200具有最先進的控制軟件,旨在提供靈活、用戶友好的操作,並具有作業編程功能和對多種基板的支持。軟件還允許過程優化和參數開發。機器的溫控機保持恒定的環境溫度，能夠在曝光前後加熱或冷卻晶片。此外,MA 200能夠處理直徑最大為8英寸的基板,並且能夠承受高達5.5英寸的曝光面積。該機器還具有先進的晶圓處理工具，具有自動濕處理資產，在曝光前清潔和保存光刻膠。KARL SUSS MA 200采用模塊化設計和一套全面的自我監控功能,易於維護。