二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9395433 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 200是一種全場投影對齊器，用於亞微米範圍內基板的定性對準和光刻。該設備非常適合使用多種材料、基材、劑量和特征尺寸,非常適合各種研究、開發和生產應用。MICROTEC MA200具有獨特的非掃描儀對準系統，該系統使用廣域成像光學器件和場均勻性來快速精確地對準每個基板。這允許對基板進行精確的配準,以便進行光掩碼和蝕刻過程。KARL SUSS MA-200內的高端對準單元采用數字成像以及對掩模的精確線性和旋轉控制，以確保基板與光掩模的精確對準。該機經過優化，便於優化叠加匹配，這對於微電子和微電子系統中的小、復雜設計的對齊具有重要意義。KARL SUSS MA 200的特性尺寸極小，允許小至0.2 mrad的角度精確對齊。在許多商業對齊器中都可以找到這種特征大小，但是MA200在精確和精確對齊非常小的特征方面特別有利。KARL SUSS MA200自動化,配有多磨損部件和用戶可更換的光學器件,允許用戶在保持最高質量標準的同時降低運營成本。自動運輸晶片處理工具允許快速裝載基板和掩模，減少了光刻所需的時間。自動化維護資產確保了所有組件的最佳性能,從而減少了手動維護的需求。MA-200為關鍵特征的精確對齊提供了頂級功能。它的非掃描儀技術、廣域成像光學以及敏感的數字成像和控制系統允許用戶以始終如一的優異效果創建高質量的蒙版。先進技術與可靠性能相結合，是研發和生產應用的絕佳選擇。