二手 KARL SUSS / MICROTEC MA-210 AA #293654297 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA-210 AA Mask Aligner是一種高端儀器，用於制作各種電子器件的光刻工藝。它用於生產光掩模，用於在半導體晶圓上創建高度精確的圖樣。MICROTEC MA-210 AA Mask Aligner有兩個主要組件：UV投影設備和二維（XY）級。紫外線投影系統包括一個DUV光學橢球反射器、一個電源單元和一個密封的紫外線準分子激光器。激光產生248納米波長的光，被反射器準直，產生可以投射到所需晶片層上的光掩模的精確圖像。圖像尺寸在0.25mm至12mm之間，分辨率為0.25 μ m。還包括一個顯微鏡，提供10倍至50倍的放大倍率，以便對掩模和晶片層進行高度精確的對準。KARL SUSS MA-210 AA Mask Aligner的XY級由直流電機驅動,提供三種手動/自動操作模式。在手動模式下，舞臺可以用操縱桿和數字顯示器手動控制，提供高達0.2mm的精度。在自動模式下，舞臺可以針對各種作業進行編程，可重復性和精度為0.1mm。覆蓋測量單元也可用於掩模和晶片層的高精度對準，使用反射激光進行檢測。MA-210 AA Mask Aligner配備自動晶片對準機,具有三個可電子調制的V型凹槽系統。集成的晶圓提升工具可高效加載和卸載直徑可達200毫米的200個晶圓,在光刻工藝中提供高效和高效的效率。KARL SUSS/MICROTEC MA-210 AA Mask Aligner具有可編程計算機接口,允許軟件控制對準器的各個方面,包括激光功率和探測器信號。它包括許多安全功能，例如用於紫外線光學資產的快門，以及用於防止未經授權使用對準器的互鎖模型。綜上所述，MICROTEC MA-210 AA Mask Aligner是用於制造半導體器件的高精度光掩碼的先進工具。它具有先進的紫外線投影設備、二維XY級、自動晶圓對準系統和可編程的計算機接口。KARL SUSS MA-210 AA Mask Aligner通過提供可重復性和準確性以及多種安全特性,為半導體元件的成功制造做出了貢獻。