二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 24 #9246069 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 24是來自MICROTEC Company和KARL SUSS的高度先進、自動化的掩模對準器。本機用於半導體工業中的光刻工藝。它使用光學對準來精確定位用於各種應用的掩模和晶片。MICROTEC MA 24提供了位置精度為1.2 µm的原位步進器、自動XYW掩模傳輸能力和精確的基於UV的激光光刻技術，非常適合生產微結構半導體器件。該機可配備多種先進功能，包括圖像分析、計算機輔助晶片表面識別、數據分析、實時晶片位置反饋以及過程監控。KARL SUSS MA 24效率很高，使用傳統和高端數碼光學傳感器，並擁有多達三個獨立的相機系統。它還有一個內置的視覺設備，具有先進的照明窗口，色彩補償器和伽馬設置。該系統還有一個空氣濾清器單元，以及一個真空保護透鏡機，以確保所有的光學元件始終準備就緒。MA 24支持三種不同的曝光模式-單曝光、雙曝光和四曝光-用於晶圓的順序放置和陣列。它還提供了一種高分辨率的紫外線激光光刻技術，用於生產低至15納米特征尺寸的微觀結構。該工具的工作分辨率為15 µm，提供了無限制的對準過程階段。KARL SUSS/MICROTEC MA 24還提供了高度的資產靈活性。它包括一個加熱的舞臺板和允許多達九個不同的面罩平面角度設置。此外，該單元還包含了像叠加控制測量、周期時間減少、負模式模式等特殊選項。此外，MICROTEC MA 24有自動化模式。它包括軟件、計時器和機器人臂，可以將晶片和掩碼裝卸到機器中。機器還有一個自動站選擇器，使用戶能夠在不同的晶片、掩模和曝光平面之間快速切換。KARL SUSS MA 24 Mask Aligner是一款先進且用戶友好的設備,非常適合生產精密的微型結構。它采用了最新的技術和功能,以確保卓越的性能。憑借其廣泛的功能，它是生產高質量半導體器件的完美工具。