二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 24 #9382957 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 24是一種先進的用於半導體制造工藝的掩模對齊器。此工具可用於使用EBR（電性遮蔽電阻器）和激光將平版印刷圖樣印在掩模和/或晶圓上。機器有一個高精度的兩軸坐標表，其中一個軸用於旋轉面罩，同時還有一個鋁真空卡盤。該表可達到高達400 rpm的速度和高達5微米的可重復性。它還具有高性能激光分束器，可以在對準過程中獲得更高的精度，並且能夠對準小至1.5微米的步長。MICROTEC MA 24的對準過程高度自動化。激光用於檢測掩模的位置，並用兩個光學傳感器獲得對準精度。這使得掩模和晶片的對準精度很高。激光標記檢測也用於在一個過程中對齊多層。由於機器是一種高度精確的儀器，它比其他類似的對齊器需要更少的人力監督，使得它在時間和金錢上效率更高。此外，它不產生任何臭氧，這使得它可以安全使用。KARL SUSS MA 24有一臺主機可以鏈接到任何光刻操作。它還為用戶提供了對齊方式的全面數據報告，以便他們能夠更好地控制自己的操作。綜上所述,MA 24是一種高精度、高效的高級掩模對齊器.它提供了許多功能,包括高精度、最低限度的人力監督、安全操作和全面的數據報告。對於電子工業中使用的半導體制造來說，這是一個很好的選擇。