二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 25 #293601585 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 25是Benchtop Mask Aligner,可為各種應用程序提供光刻功能。該系統非常適合原型半導體器件的制造和評估，以及進行工藝開發研究。它利用先進的曝光光學、精確的運動階段和直觀的操作員界面來提供快速、可重復的結果。MICROTEC MA 25配備了一個光學頭，可用於角度和圓形照明，用於專門的應用。它具有獲得專利的3.2nm光柵系統,可實現高精度和精確的對準。所述光學器件適用於各種基板，從微米到毫米，工作距離超過8英寸（20.3厘米）。KARL SUSS MA-25有多種曝光技術，包括經典接觸印刷和近距離印刷。強度控制和脈沖模式曝光也可提供。此外,它還具有可變劑量控制和可編程的能量斜坡特性.這些功能確保精確的對準和曝光，以及改進的過程控制，具有高達40倍的低劑量控制。KARL SUSS/MICROTEC MA-25專為低批量和大批量生產而設計,可處理各種口罩和基板。它具有Z軸焦距，能夠通過離散數字表面掃描聚焦到50微米。它還具有可調節的掩模到晶片間隙和恒定的掃描速率跟蹤精度。為了最大限度地提高用戶安全，MA-25有一個完整的外殼，這也有助於消除顆粒物和其他來源的汙染。機箱還具有主動冷卻功能,可使系統保持峰值性能,並最大程度地減少過熱造成的潛在損壞。總體而言，MICROTEC MA-25是各種光刻應用的絕佳選擇。它非常精確、可靠,並采用最新的曝光技術來實現最精確的定位和曝光設置。