二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 300 Gen3 #293830278 待售
網址複製成功!
KARL SUSS/MICROTEC MA 300 Gen3是一種尖端的掩模對齊器,為半導體制造、MEMS(微機電系統)制造和其他微/納米技術應用中的光刻工藝提供高精度和先進的特性。這種用途廣泛的工具旨在提供精確的對準和曝光光掩模基板,允許在微觀和納米級的特征的精確模式。MICROTEC MA 300 Gen3配備了頂側對準設備,使用先進的光學和對準算法,以確保掩模和基板之間的精確覆蓋。該系統具有高分辨率攝像機、高級對準軟件和可實現亞微米精度的自動對準程序的電動級。這種精度水平對於實現嚴格的設計公差和在基板上創建復雜的圖樣至關重要。掩模對準器還提供靈活的曝光模式,包括接近、軟和真空接觸模式,允許用戶針對不同類型的基板和結構優化曝光過程。曝光裝置利用高強度紫外線光源,通常是汞或LED光源,以高保真度和最小失真將圖樣從掩模轉移到基板。機器可以配置不同的波長選項,以適應廣泛的光刻材料和工藝要求。除了先進的定位和曝光功能外,KARL SUSS MA 300 Gen3還配備了一系列功能,旨在提高工作效率和易用性。該工具專為高吞吐量操作而設計,具有快速對齊和曝光周期,可最大程度地減少過程時間並提高整體效率。該工具還包括便於用戶使用的軟件接口,可方便地編程曝光配方、監控流程參數和數據分析。MA 300 Gen3是一種高度可定制的工具,可以配置各種選項以滿足特定的客戶要求。這包括用於多晶片處理、自動晶片處理以及與各種掩碼大小和類型兼容的選項。該資產還可以與其他工藝設備集成,如旋轉塗料、開發者和檢驗工具,以創建一條用於批量制造的全自動生產線。總體而言,KARL SUSS/MICROTEC MA 300 Gen3是一種最先進的掩模對齊器,它結合了精確度、靈活性和生產率,以滿足先進微/納米制造工藝的苛刻要求。無論是用於研究實驗室、學術機構還是工業生產設施,這一工具都為創建具有亞微米分辨率的高質量模式和結構提供了可靠而高效的解決方案。
還沒有評論