二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 4/6 #293828140 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 4/6是一款掩模對齊器，將精密對齊與先進的工藝控制相結合，用於快速應用原型制作、小批量系列生產和研發。這種機械式、高度精確的掩模對準器的定位精度優於1微米，能夠在大面積上進行出色的配準。它也有一個8X8英寸的場大小，使其適合大的模式應用。MICROTEC MA 4/6具有SUSS MICROTEC X-Y-Theta對準設備（XYT），將獨立的X、Y和Theta電機與數字位置顯示相結合。這樣可以精確且可重復對齊多個掩碼,並減少對齊時間而不會影響分辨率。XYT系統提供自動化和手動對齊模式,允許直接比較兩個圖像以進行微調。KARL SUSS MA 4/6最多可容納6個晶片,可選擇使用直徑2至8英寸的各種晶片尺寸。它有一個可調節的晶片夾緊單元和一個晶片裝載機穿梭，用於快速裝卸。晶片托架的設計便於掩模加載和交換，而不會影響精度或重復性。MA 4/6設計用於關鍵光刻應用。它有一臺He-Ne激光對準機，內置顯微鏡，既提供了面罩的自動對準，又將面罩自動聚焦到晶圓上。這樣可以確保最高的準確性和可重復性,而自動索引功能可以更輕松地切換數據集。KARL SUSS/MICROTEC MA 4/6具有曝光重復性、高透明度、邊緣放置精度優於1微米以及50微米以上提升能力等多重控制特性。對於過程控制，它包括一個高級過程控制工具，包括暴露和蝕刻時間六個可變參數。其用戶友好的軟件還提供了自動加載數據、掩碼庫、配方設置和晶圓追蹤能力等靈活性和功能。最後,MICROTEC MA 4/6是一種高度精確的掩模對齊器,能夠為快速原型制作和研發提供出色的註冊和高效的處理。其先進的設計和對齊資產以及用戶友好的軟件使其成為各種光刻應用的理想選擇。