二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 4/6 #9249041 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 4/6是一種掩模對齊器，用來將光刻掩模與光刻覆蓋的晶片對齊，以便在晶片上創建圖案。MICROTEC MA 4/6專為使集成電路（IC）的大批量制造可靠、精確、可重現而設計。該設備采用高精度和自動化的對準技術來精確地操作和定位用於IC陣列的掩模。KARL SUSS MA 4/6掩模對齊器有五個主要組件：晶圓表、掩模表、光學編碼器對、視覺和檢查系統以及控制單元。晶圓臺設計為保持晶圓，並配有氣動驅動的真空杯以固定晶圓，並允許在X、Y和Z軸中操縱。掩碼表設計用於容納掩碼,並包含一個集成的自動掩碼加載程序。光學編碼器有助於精確測量晶片和掩模彼此之間的運動和對準。視力和檢查單元確保保持掩模和晶片的完整性,並正確執行陣列。最後，控制單元提供硬件和軟件來指導晶圓和掩模表的精確定位。MA 4/6掩模對準器具有高達10微米（µm）的校準對準精度，適合納米尺度精度。並用三點校準機調整對準精度，以實現最佳對準。這種三點校準工具利用三個基準標記，這三個基準標記是晶圓上用來參考掩模的永久標記，在X和Y軸上提供獨立的對齊方式。此外，資產還采用集成晶圓檢測模型，在曝光前後對晶圓進行檢測。此檢查顯示在控制單元的屏幕上,允許訪問各種參數以檢查可重現的精度。此外,KARL SUSS MA 4/6掩碼對齊器還具有直觀、圖標驅動的直觀用戶界面,即使是首次使用的用戶也能簡化用戶操作和設置。甚至還有一個計算機輔助設計（CAD）接口，用於將模式從IC布局傳輸到晶圓。此程序也可定制和編程,允許根據用戶規範進行定制操作。MA 4/6掩模對齊器的其他功能包括先進的圖像處理、低運行成本和低占地空間要求。此掩模對齊器非常適合小型和大型生產運行,旨在使大批量生產的IC準確、可靠和可重現。KARL SUSS/MICROTEC MA 4/6掩碼對齊器具有直觀的用戶界面、編程功能和精密的對齊精度,可以可靠地使用,甚至可以供首次使用的用戶使用。