二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 4 #9279272 待售

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ID: 9279272
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KARL SUSS/MICROTEC MA 4是一種精密、高性能的掩模對齊器,可用於在基板上精確放置圖樣。該對準器是專為微電子元件的高效接觸對準而設計的。在微電子和光電器件的工藝應用中,可以對正負光敏材料和紫外敏感材料進行成型。MICROTEC MA 4對準器基於計算機控制、電動、手動對準顯微鏡和模式運動系統。該系統允許在顯微鏡中對圖樣進行精確的手動對準。它使用真空來固定圖樣和光學偏轉器到圖像對準點從對象平面到CCD型相機。這款相機的分辨率為1.0微米,可以放大和縮小,以適應不同的圖案和基板尺寸。KARL SUSS MA-4對準器配備了智能定位器、X-Y級和步進電機。智能定位器是一種計算機控制的機械臂,確保精確的零件對準。X-Y級允許用戶通過在兩個軸上移動基板來精確對齊圖樣。步進電機可確保將基板精確成像到相機上,而不會產生任何失真。KARL SUSS/MICROTEC MA-4對準器具有集成照明系統、防反射塗層和自動對焦控制。它還具有可編程模式掩碼例程,允許自動設置以提高生產效率。對齊器配有校準程序,用於保證對齊過程的準確性。MA 4對齊器極為精確,可以處理多種材料。與PMMA、幹膜、聚酰亞胺、AZ光刻膠兼容。對準器精度高,靈敏度高,可將邊緣加工至0.5 µm。由於它的機動運動,它具有很高的速度,這允許更快的生產周期。MICROTEC MA-4是一種可靠而強大的掩模對準器,適用於廣泛的微電子生產。
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