二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 45 #9221606 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 45是一種精密的掩模對齊器,可在掩模上的圖樣排列與基板上的表面特征之間提供高精度對齊。它是一種接觸對準器，使用機械和光學傳感器的組合，以確保在圖樣和基板之間精確配合。MICROTEC MA 45利用自動校準簡化了作業選擇和調整過程,顯著提高了吞吐量並縮短了設置時間。KARL SUSS MA-45包括一個機殼和一個攝像頭組件，以及一個真空卡盤安裝晶片級。設備配置有四個對準視覺系統-兩個用於粗略對準,兩個用於精細對準。單光束掃描單元用於從陣列和晶圓曲面捕獲圖像數據。這些數據在軟件中進行處理以生成對齊參數，使系統能夠達到高達2微米的註冊精度。KARL SUSS MA 45設計具有多重曝光能力，提供晶圓基板的全面接入和覆蓋。它配備了幾種不同類型的投影光學器件，用於不同的圖案和特征。它還可以配備多個源持有者，允許處理多種掩碼格式。該設備采用符合人體工程學的設計,使操作員能夠管理所有操作並驗證單個控制臺的流程數據。它由基於Linux的操作機器控制，可以與SUSS MICROTEC軟件工具連接，允許工程師存儲作業、監控曝光結果和根據需要調整參數。此外，KARL SUSS/MICROTEC MA-45可以與廣泛的其他設備集成，並與自動化的材料和資源處理系統兼容。這使得用戶能夠創建完整的生產系統以實現高效自動化以及經濟高效和可靠的生產操作。