二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 56 / MJB55 #9136941 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 56/ MJB55是專門為微觀元件的精確陣列和對準而設計的掩模對準設備。MA 56將基板保持在精確控制的真空兼容卡盤中，而MJB55是執行所有微對準和定位功能的兩級對準和x-y-z定位系統。它們共同為先進微電子芯片制造中采用的掩蔽和光刻步驟提供了極高的精度和可重復的結果。MA 56利用高精度級進行平坦基板對準和圖樣化，能夠在X、Y、Z方向提供0.1微米（100納米）範圍內的精度。舞臺的行程範圍為400 x 400mm（15.7 "x 15.7"），精度為+/-2um（0.08"）。頭部安裝在單軸傾斜角級，精確到+/-10弧秒，360度連續旋轉級。MJB 55是一個具有6軸運動（x-y-z、θ x、θ y和θ z）的舞臺控制掩模對準單元。它的行程範圍為70 x 70mm（2.75 "x2.75"），定位精度為+/-2um（0.08"），能夠達到2 deg/s的轉速。也是c能3K速度掃描，適合亞微米精度。MA 56和MJB 55可以處理從4 「x 4」到12 「x 12」的各種掩模尺寸，並且既兼容標準的光成像板，又兼容基板。該機還具有多種確保高精度的功能，包括自動間隙檢測以確保基板平行性，以及自對準步驟和重復例程。MICROTEC MA 56/ MJB55是執行高級IC制造所需的所有掩蔽和光刻步驟的理想工具。它提供了準確和可重復的結果,其廣泛的特性和功能使其成為芯片制造商尋找高精度陣列和調整其微分子的不可或缺的工具。