二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #293621163 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 56是一種在微電子產品的製造中，用於光刻的高度精確的掩模對齊器。此對齊器可用於手動和自動生產方案,為用戶提供卓越的準確性、可重復性和靈活性。MICROTEC MA56利用高分辨率數字成像系統對基板上的掩模進行精確對齊和註冊。該系統采用遠心物鏡、可調場透鏡和內置錯位探測器，結合各種光源，每次都能提供精確的對準結果。自動晶圓處理系統能夠快速更換基板並實現高通量生產。KARL SUSS MA-56有幾種操作模式，包括矢量掃描、鋸齒掃描和叠加校正。矢量掃描模式允許用戶準確、快速地對齊模式,而鋸齒狀掃描模式則允許使用重復的模具大小進行降級對齊。在叠加校正模式下,掩碼對齊器能夠自動補償掩碼幾何中的任何錯誤,從而減少未對齊。KARL SUSS/MICROTEC MA-56掩模對準器的分辨率為4.5微米，圓形視場直徑可達115毫米。它提供2 x 2 mm至200 x 200 mm的模具尺寸範圍,最大對準速度為1,000 um/sec。此對齊器結合了直觀的用戶界面,使其極易使用,並具有許多附加功能,如自動對焦、自動邊緣檢測、模具自動放大和可變對齊能量設置。KARL SUSS/MICROTEC MA56是用於生產和研究應用的可靠且經濟高效的掩模對齊器。它提供卓越的性能、可重復性和靈活性,使用戶能夠根據其微電子制造需求獲得一致的結果。