二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #293732395 待售

ID: 293732395
Mask aligner.
KARL SUSS/MICROTEC MA 56 Mask Aligner是一種精密機器,用於微加工技術將圖樣轉移到基板上。掩模對齊器是一種用於將光掩模與基板對齊的工具,在光刻應用中使用受控照明。MICROTEC MA56是一種桌面對齊器,可以處理4-8英寸晶圓和各種其他基材尺寸。KARL SUSS MA-56的核心元件是衍射光學元件,或DOE,一種光束吸入器。該DOE拆分光束,產生不同比例的部分光束,使KARL SUSS/MICROTEC MA56其獨特的對準能力。這些部分光束可以進行調制,從而使遮罩在基板上精確對準。另外,KARL SUSS/MICROTEC MA-56設有可調氣壓室,可用於控制光刻過程中基板的壓力。KARL SUSS MA56允許用戶控制和選擇與對齊和叠加過程相關的各種參數。這些參數可以包括場的大小、光量、光的強度、光的位置、曝光時間等等。這允許用戶自定義其流程以適合其各自的任務。MA-56是一個功能強大且高度可配置的工具。它具有提高精度和可重復性的幾個功能,例如高分辨率和精細移動功能,以及自動模式對齊和自動掩碼對齊器控制。這使得它適合生產和復雜的研究應用。此外,用戶友好的界面,LCD觸摸屏,允許方便導航的各種功能。MICROTEC MA 56 Mask Aligner配備了一系列功能,是光刻和微加工工藝的最佳工具。它的壓電級允許面罩和基板材料的精確對準,而其可調的氣壓室則允許精確的壓力控制。此外,其先進的微處理器驅動系統和用戶友好界面在廣泛的應用程序和過程類型上提高了模型的準確性和可重復性。
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