二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #293740285 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 56是一種最先進的掩模對準工具，用於半導體制造過程中。它由三個主要組成部分組成：對準設備、執行器和微機械手系統。對準單元使用雙光學遠程讀取器檢測掩碼和晶片上的對準標記。然後根據光學遠程閱讀器的精度在兩者之間產生參考偏移。執行器用於將掩模和晶片移動到它們的相對位置並保持在那裏。微型機械手機器由機械手組成，這些機械手將掩模和晶片移動到一個參考系中並固定在那裏。實際的特徵大小是由晶圓上用於列印的蒙版決定的，而這種特徵大小也決定了從對齊工具所期望的精度。有了這個特殊的工具，對準精度被引用為1微米或更小，使得它適用於各種各樣的設備，從高功率射頻，模擬和數字設備。致動器有一個被引用為1.5微米的重復性，使得它適用於線寬在5微米到25微米之間的裝置。遮罩對齊器還包括一個照明資產，其光譜泛光燈為7倍，可確保晶圓上的光刻膠層正確曝光。光線是專門針對所使用的面罩量身定制的，具有均勻的緊密光束強度。這種緊密的光束是允許工具與對準模型達到0.5微米以下精度的。MICROTEC MA56還包括晶圓清潔和幹燥能力，包括計量能力。它具有完整的盒式到盒式真空操作，並具有可選的Z軸擦拭功能。此外,該工具還配備了自動化測試功能、高達40攝氏度的環境控制、溫度和濕度控制、輕損傷保護和冷熱卡盤控制。總體而言,KARL SUSS MA-56是一種精確可靠的掩模對準工具.其最先進的組件確保它能夠處理從高功率射頻設備到數字設計的各種應用。此外，清潔和幹燥晶片的能力以及自動化測試能力使KARL SUSS/MICROTEC MA-56先進半導體制造工藝的重要工具。