二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #293744976 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 56是光刻工藝中使用的一種先進的光學掩模對準器。它是一種多用途的設備,能夠制造各種尺寸、形狀和材料的高質量光掩模。它專為各種微電子和半導體工藝的高分辨率、經濟高效的掩模對準而設計。該系統使用高級串聯步進掃描儀,在200 mm x 200 mm對齊字段上掃描掩碼圖樣,精度為0.02微米。可以動態修改掃描以增加掃描儀的放大倍率或減少讀出噪聲。MICROTEC MA56分為兩個階段；一個階段用於對齊,而另一個階段同時掃描相同的掩碼模式。該裝置還有一個機載顯微鏡，能夠用數字調制光源觀察掩模圖樣，以便檢測甚至最小的缺陷或錯位。機器提供了一系列不同的選項，如自動定向補償和先進的對準工具，以確保可靠和準確的面罩修復或校正。它還具有稱為「Alignment- Free」模式的特殊對齊功能，在對齊過程中無需操作員幹預。KARL SUSS MA-56工具還具有一套強大的自動化工具,使其能夠與MCSX、C++和MATLAB等行業標準編程平臺相結合,以便於與現有半導體過程自動化系統集成。資產還支持圖像處理、線程和DRC/DFM檢查等可選功能，以確保掩模圖樣的精確定位，以滿足半導體器件的精確要求。KARL SUSS/MICROTEC MA56是一個通用平臺，可用於所有類型的微電子應用，從多芯片和芯片堆疊，到高分辨率的標線、光電子和晶圓級封裝。微電子制造商高度重視它,因為它提供精確的對齊、節省成本和可靠性。