二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #293745236 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 56是一種高精度的掩模對齊器，用於許多光刻工藝。該裝置采用了具有強光源和高精度XY掩模級的特殊投影光學系統。MICROTEC MA56允許對光掩模進行精確對準和配準,從而確保精確的特征定義和對生成層及後續層的精確對準。KARL SUSS MA-56由三個主要組件組成：掩模級、限制結構和標線。「掩模」級負責精確對齊光掩模,「限制結構」可確保精確的特征定義和後續層的精確對齊。標線用於將光聚焦到掩模上。MICROTEC MA-56先進的光學系統具有精確的聚焦機制和大的發光區。這允許精確的產品定位和小型功能尺寸。此外,KARL SUSS MA56還具有高級自動對齊功能,可輕松設置和精確對齊。與MICROTEC MA 56相關聯的先進光刻軟件允許多次曝光和晶圓註冊選項。該設備的放大倍數可達1600倍,並具有改進的鏡頭分辨率。KARL SUSS MA 56設有溫控級，可改善過程穩定性。KARL SUSS/MICROTEC MA56還提高了特征檢測的準確性，使其非常適合甚至最精確的光刻工藝。MA 56的對準精度為+/-0.5微米。MA-56能夠進行各種光敏處理，如軟烘烤、烘烤、退火和開發。MA56是一個高度可靠的設備，由於其低運行功耗和使用高質量的部件。它能夠快速、準確地處理高精度的光掩模。因此，該器件廣泛用於集成電路、半導體器件和混合集成電路的生產。