二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #293818085 待售
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KARL SUSS/MICROTEC MA 56是一種高度精確的掩模對齊器,廣泛應用於微電子工業。它是一種廣泛信賴的可靠對齊器,適用於光刻、薄膜沈積、納米改性、激光結構、非線性光學等多種應用。掩模對準器由兩級光學設備組成,可在掩模和晶圓之間精確對準。第一階段是掩模對晶片對齊階段,用於精確對齊掩模和晶片。此外,系統還有驅動單元和電動XYZ級,使掩模和晶片能夠精確移動。MICROTEC MA56能夠提供高精度,具有10nm可重復性,可用於掩碼模式配準。掩碼對齊器具有視覺單元,可自動校正任何可能的對齊錯誤。這臺機器對溫度、振動和氣壓的變化也高度敏感。此外,該工具設計得非常穩定,在整個對準過程中保持穩定的溫度和氣壓。KARL SUSS MA-56是一種多功能設備,能夠處理各種晶圓大小和形狀。此外,資產有幾個參數可以調整,以適應所需的對準精度;這些參數包括聚焦範圍、光源和投影尺度。再者,該型號可與多種掩模配合使用,如1 x或2 x平面或小場照明、集成電路、二進制或灰度掩模。MICROTEC MA-56由於其精確度、可靠性和靈活性,在微電子工業中廣受歡迎。它能夠產生高質量的對齊結果,非常適合各種材料和工藝。此外,該設備易於使用,使其成為所有技能水平的用戶的理想選擇。這種功能的組合使得MICROTEC MA 56對於那些尋找可靠和通用的掩模對齊器的人來說是一個理想的選擇。
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